出展の見どころ
| （株）工苑 | ||
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ポジショニングEXPO No. E-25 |
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| 〒2130032 | ||||||||||||||||
| 神奈川県川崎市高津区久地4-26-41 | ||||||||||||||||
| URL：https://www.koenn.co.jp/ | ||||||||||||||||
| ● 担当 | ||||||||||||||||
| 機器システム部 | ||||||||||||||||
| TEL：044-811-3421 FAX：044-811-2238 | ||||||||||||||||
| ● 出展の見どころ | ||||||||||||||||
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半導体製造装置や光学試験・分析機器などに20年以上の導入実績のある、ナノモーション社の超音波モーターとステージ商品群を出展。超音波モーターとはピエゾモーターの一種で、軽量で高い位置制御性を持ち、真空容器内での使用実績が豊富です。
また、製造現場で使われるEtherCAT対応のデジタルサーボドライバ製品（アドバンスド・モーションコントロール社）も紹介します。 |
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| ● 出展製品 | ||||||||||||||||
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新製品 超音波モータ（ピエゾモータ）SEシリーズ SEモータは半導体製造装置におけるNanomotion社の超音波モータの豊富な経験を基に開発されました。 高剛性によってサブナノメートルの分解能と1nmの高精度位置決めを可能としています。真空環境に対応し早い位置決め整定時間は、半導体の製造装置や検査装置に採用されています。 |
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デモ 超音波モータ（ピエゾモータ） HRシリーズ HRモータにはHR1（駆動力4N）〜HR8（駆動力32N）のモデルがあります。またトルクが少ない時はHRシリーズを複数使って最大128Nまで増やすことができます。モータがステージを押し付けていることにより非通電時でもステージを保持されます。 毎秒数μ〜250mmまでの可変速範囲を持ち、安定した低速移動から高速移動までを可能としています。 大気中から高真空までいろんな場面で活用できます。 |
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デモ モーションコントローラ DMC-40x0 DMC-40X0は米国Galil社の最高性能のモーション コントローラで、専用ファームウエアによって、 Nanomotionのピエゾモータを最適に制御する事が 可能です。 |
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デジタルサーボドライバ FlexPro アドバンスド・モーションコントロール社の新製品 デジタルサーボドライブ FlexPro を紹介します。FE060-25-EMのサイズは、約38.1 x 25.4 x 16.0 mmで手のひらにのせられる程超小型です。この小型ドライブは10〜55ボルトDCで動作し、EtherCAT通信をサポートします。インクリメンタルエンコーダおよびBISS Cモード絶対値エンコーダフィードバックをサポートし、50アンペアのピーク電流と25アンペアの連続電流を供給可能です。この新ドライブは、アプリケーションに素晴らしいパワーとパフォーマンスを提供することを可能にし、操作上の柔軟性を大幅に拡張します。各社DCモータ、ACサーボモータ、ステップモータ、誘導モータに適用可能です。 定格電力連続（KW）： 1.3、定格電力ピーク（kW）：2.6 連続定格連続（A）：25.0、ピーク電流（A）：50.0 ネットワーク通信：EtherCAT、DC供給電圧（VDC）： 10 - 55 機能安全： 安全トルクオフ（STO） |
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