出展の見どころ
| （株）協同インターナショナル | ||
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レーザーEXPO No. A-38 |
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| 〒216-0033 | ||||||||||||||||
| 神奈川県川崎市宮前区宮崎2-10-9 オーミヤ宮崎台ビル | ||||||||||||||||
| URL：https://www.kyodo-inc.co.jp/ | ||||||||||||||||
| ● 担当 | ||||||||||||||||
| Electronics Department | ||||||||||||||||
| TEL：044-852-7575 FAX：044-854-1979 | ||||||||||||||||
| ● 出展の見どころ | ||||||||||||||||
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周期的なナノパターンの露光装置（Phableシリーズ）の紹介。
パターニング済みウェハのサンプル展示。 |
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| ● 出展製品 | ||||||||||||||||
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Phable R (フォトニクスパターン露光装置、R＆D/少量生産向き) ナノパターン露光装置 ナノスケールの周期的なパターンの露光 (DUV: 線幅・径65nm～、UV: 線幅・径125nm～) R＆D, 少量生産向け |
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Phable X (フォトニクスパターン露光装置、自動機/量生用) ナノパターン露光装置 ナノスケールの周期的なパターンの露光 (DUV: 線幅・径65nm～、UV: 線幅・径125nm～) カセット対応、自動制御 量産対応機 |
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新製品 Phable S (フォトニクスパターン露光装置、自動機/12"対応/量生用) ナノパターン露光装置 ナノスケールの周期的なパターンの露光 (DUV: 線幅・径65nm～、UV: 線幅・径125nm～) ステップ＆リピート露光 カセット自動処理 大量生産向け 大口径(12")ウェハ対応 |
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| ● ブース訪問予約／お問合せフォーム （光関連業界に関するお問合せ以外のご利用はご遠慮ください） | ||||||||||||||||
お問合せメールを送信いたしました。
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