出展の見どころ

ソフトワークス（株）
	レーザーEXPO　 No. H-22

〒433-8119

静岡県浜松市中区高丘北1-40-15

URL：http://www.softworks.co.jp/

● 担当

特機事業部杉田　勝

TEL：053-439-8960　FAX：053-439-5561

● 出展の見どころ

本装置は色収差共焦点原理を用いた高精度の超高速センサーにより、最大 6,000 ライン/秒の測定速度で、最大 100 万ポイント/秒を超える測定が可能です。段差、異物、キズ、突起、膜厚などを大面積で短時間検査測定する事が可能になります。測定ワークも選ばず鏡面でも測定可能です、また複雑な形状でも正確に測定できます。卓上機から、全自動型インラインにに対応致します。

● 出展製品

新製品
高精度高速３次元測定装置

本装置は色収差共焦点原理を用いた高精度の超高速センサーにより、最大 6,000 ライン/秒の測定速度で、最大 100 万ポイント/秒（ＨＳタイプ）を超える測定が可能です。段差、異物、キズ、突起、膜厚などを大面積で短時間検査測定する事が可能になります。

新製品
レンズ外観検査装置

本装置は高速高解像度カメラと照明系を工夫して小型レンズの（スマホ含む）の外観検査を高速高精度で、
行います。またレンズ単体とモジュールの双方の検査に対応します。異物や、傷、クラック等の検査も可能。
手動でサンプルを搭載し、検査は自動で行います。従来の顕微鏡目視測定に比べ、高精度ＣＭＯＳカメラにより圧倒的な高精度、高再現性を短時間で実現いたします。またインラインにも容易に対応致します。

ハンディＡＦＭ

奥行き幅、共に１５ｃｍの超小型ＡＦＭで、操作もノートＰＣから全て行えます。
ＳＥＭやレーザー顕微鏡、高倍率の光学顕微鏡の変わりに使用できます。測定モードも標準で、
スタティックフォースモード、ダイナミックフォースモード、フェイズコントラスト、位相測定、フォースモデュレーション、スプレッディングレジスタンス、外部入力が可能です。
走査ヘッドは、高分解能、広域タイプの２種類が選択できます。

化合物複合検査装置

化合物系ウエハー検査装置です。６インチ迄のＳｉｃ、Ｇａｎ、サファイアウエハーなどの、内部マイクロパイプや、脈離、表面傷、異物、研磨痕などの検査に有効です。検査に、スーパーマクロ、微分干渉、暗視野、透過の４つ光学系を持ち、全ての光学系にオートフォーカスを持ち、自動ステージにより同じ座標系での検査が可能です。オプションで、同じ座標系に、ＡＦＭやウエハー厚さ測定を載せる事も可能です。

電子投影機　EP500

CADデータをマスターとした製品の自動寸法測定が可能。
投影機や測定顕微鏡を用いた製品の寸法測定は手間のかかる作業ですが、電子投影機EP５００は、その煩雑な作業を全て自動化します。また製品を基準としてマスター登録するのでは無くCADデータを基準としての登録が可能です。その為に交差の大きい製品でも測定及び良否判定が可能である上に登録作業を効率良く行う事が出来ます。多品種の製品測定には最適です。カメラは目的によって最適な物を選択する事は当然ですが、光学系も選択が可能です

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