出展の見どころ

Beneq株式会社
	セミナーレンズ設計・製造展　 No. S-31

〒220-0012

神奈川県横浜市西区みなとみらい 4-4-2　横浜ブルーアベニュー12階

URL：https://beneq.com/

● 担当

Advanced ALD 西山俊彦

TEL：045-274-5273　FAX：

● 出展の見どころ

Beneqはフィンランド、Espooに本社を置き、40年近くの歴史を持つALD成膜装置の製造販売、サービスをグローバルに行っているALDの専門企業です。
今回の出展では、光学系薄膜のアプリケーションや、大容量、３D形、の生産に適したBeneq P-シリーズ。高速成膜を実現した、Spacital（空間分離型）ALDの Beneq C2Rなどの光学成膜に適したALD装置をご紹介します。

● 出展製品

Beneq C2R

Beneq C2R™は、当社のクラスタ対応装置に対応可能な、Spatial （空間分離型）ALD装置です。
Beneq C2Rはプラズマ励起式ALD（PEALD）プロセスを高速回転（200rpm）を用いた空間分離にてALD成膜を行います。in-situ BBM　(optical broadband monitoring)にて成膜中に膜厚測定を行うことができます。ハイスループットのC2Rは光学薄膜成膜の生産に適した装置です。

Beneq P400A

P400Aは各種基板を最適なバッチ・サイズで成膜することに特化して作られており、著しく高い生産能力を提供するのに十分な大きさと、バッチおよび短いサイクル時間内で優れた均一性を維持するのに適した小ささを兼ね備えています。当社のお客様には、光学成膜、ならびにガラスや金属板にALDを行う用途においてP400Aをご利用頂いています。

Beneq P800

Beneq P800は、形状の複雑な大型部品や大規模バッチの小型部品の成膜を行うよう特殊設計されています。当社のお客様には、光学膜、半導体装置部品の耐食膜、およびガラスや金属薄板にALDを行う各種用途においてP800をご利用頂いています。

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